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半導體集成電路表面復雜缺陷AI綜合識別系統(tǒng)為一套基于AI技術，用于半導體集成電路如SOC，芯片的最后質量檢測工序，針對芯片表面如劃痕、凹點、字符清晰度、極性、污漬等各類復雜瑕疵，以AI識別為核心算法，綜合運用機光電技術，本產(chǎn)品的優(yōu)勢在于識別率高，識別范圍廣，與工廠生產(chǎn)系統(tǒng)對接豐富完善的特點。